产品特性：

在O和F的电浆环境中有良好的耐受性

干法刻蚀工艺耐气体腐蚀性好

优秀的耐高温性能、释气率很低

回弹性能和压变性能都很好

产品应用：

气体进口出口密封圈

腔体盖子密封圈

截止阀密封圈

ate valve和slit valve门密封

产品制程：

Etch、Tiff、CVD、PVD、Stripping

产品特性：

良好的等离子耐受性

优异的耐高温性能

极低的气体释放率

机械性能优异动静密封使用

耐臭氧性能优秀

产品应用：

气体进口出口密封圈

腔体盖子密封圈

截止阀密封圈

ate valve和slit valve门密封

产品制程：

Etch、Rinsing 、Cmp、Pumpline

产品特性：

耐F等离子优秀

干法刻蚀工艺耐气体腐蚀性好

优秀的耐高温性能

释气率很低

回弹性能和压变性能都很好

产品应用：

支架密封垫圈

过滤器密封圈

闸阀密封圈

隔离阀密封圈

产品制程：

Oxidation、Tiff、CVD、ALD、Ashing