UTchem™
Boilpeak致力于强化多种技术,耐腐蚀材料应用在干式蚀刻制程与湿式蚀刻制程,应用于绝大部分的有机溶剂、酸类与碱类,均能表现出及优异且稳定之特性。
Boilpeak全氟化弹性体密封件能抵抗超过1800中化学品介质严苛考验并且较为优异密封性能,有效减少制程缺陷与颗粒污染,在半导体晶圆制造和其他高腐蚀性化学产业应用上,Boilpeak全氟化密封件提供了卓越的耐化性、耐热性和超高洁净度表现。并且在纳米先进制程中,Boilpeak全系列产品表现优异,拥有领先地位。
化学耐受性达
采优异化学耐受性 有效增加产品生命周期
全球通型性
Boilpeak 所有研发产品 选用现有机型普及率持续成长
密封技术
领导先进制程,实现新时代纳米 高洁净密封技术
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UTchem™ KR715
产品特性:
苛刻化学品溶剂耐受性
极低的金属离子含量
溶剂中析出物少
低压变机械性能好
产品应用:
湿法刻蚀
光刻显影
晶圆清洗
液体管道传输
产品制程:
Wet Etch、Pumpline、Filter
UTchem™ KR720
产品特性:
苛刻化学品溶剂耐受性
极低的金属离子含量
溶剂中析出物少
低压变机械性能好
产品应用:
湿法刻蚀
光刻显影
晶圆清洗
液体管道传输
产品制程:
Oxidation、Diff、ALD、LPCVD
UTchem™ KR820
产品特性:
高硬度耐磨自润滑
优异的等离子耐受性
高压力密封稳定性好
低气体渗透率
产品应用:
gate valve门密封
控制阀/蝶阀密封
干法刻蚀腔体
截止阀密封圈
产品制程:
Dry Etch、PVD
UTchem™ KR225
产品特性:
优异的等离子体耐受性
高真空下的密封稳定性
经济效益好成本低
支反力稳定性好
产品应用:
CVD管道气体排放
等离子腔体密封
气体进出口密封
隔离阀密封圈
产品制程:
Wet Etch、Dry Etch、Pumpline
UTchem™ KR245
产品特性:
优异的等离子耐受性
高压力密封稳定性好
低气体渗透率
洁净度较高
产品应用:
CVD管道气体排放
等离子腔体密封圈
气体进出口密封
干法刻蚀密封圈
产品制程:
Dry Etch、PVD
UTchem™ KR920
产品特性:
高硬度耐磨自润滑
优异的等离子耐受性
高压力密封稳定性好
低气体渗透率
产品应用:
高真空刻蚀腔体
gate valve门密封
控制阀/蝶阀密封
干法刻蚀腔体
产品制程:
Dry Etch、PVD