UTpure™
创新科技的发展及努力不懈的精神是Boilepak O-ring的信念。洁净度是先进制程的技术突破及市场竞争的关键。
Boilpeak高洁净材料采用专利之聚合技术,大幅度提升产品本身洁净度,制造过程亦不需要添加额外填充物。因此能确保在绝大部分电浆环境下,均能表现出最佳的洁净特性,大幅度提高制程良率。
额外填充物
无需额外填充物 即可拥有优异物理特性
全球通型性
Boilpeak所研发产品选用现有机型普及率持续成长
密封技术
领导先进制程,实现新时代纳米 高洁净密封技术
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UTpure™ KS291
产品特性:
在O和F的电浆环境中有良好的耐受性
干法刻蚀工艺耐气体腐蚀性好
优秀的耐高温性能、释气率很低
回弹性能和压变性能都很好
产品应用:
气体进口出口密封圈
腔体盖子密封圈
截止阀密封圈
ate valve和slit valve门密封
产品制程:
Etch、Tiff、CVD
UTpure™ KS235
产品特性:
良好的等离子耐受性
优异的耐高温性能
极低的气体释放率
机械性能优异动静密封使用
耐臭氧性能优秀
产品应用:
气体进口出口密封圈
腔体盖子密封圈
截止阀密封圈
ate valve和slit valve门密封
产品制程:
Etch、Tiff、CVD
UTpure™ KS732
产品特性:
耐F等离子优秀
干法刻蚀工艺耐气体腐蚀性好
优秀的耐高温性能
释气率很低
回弹性能和压变性能都很好
产品应用:
支架密封垫圈
过滤器密封圈
闸阀密封圈
隔离阀密封圈
产品制程:
Etch、Tiff、CVD
UTpure™ KS130
产品特性:
极高的洁净度污染物低
压变性能优秀
金属离子含量极低
干刻蚀工艺性能优秀
产品应用:
气体进出口密封圈
传输管道密封圈
粘接的门板密封圈
静密封于低密封低压力使用场景
产品制程:
Etch、CVD
UTpure™ KS230
产品特性:
极高的纯净度污染无低
很好的O等离子侵蚀
气体腐蚀重量损失小
优异的压变和回弹性能
产品应用:
腔体反应室密封圈
观察窗密封圈
气体进出口密封圈
卡箍中心支架密封圈
产品制程:
Etch、Pumpline
UTpure™ KS243
产品特性:
极低的金属离子含量
优秀的耐化学气体性能
极好的物理力学性能
优秀的加工性能
产品应用:
高压力腔体盖密封圈
钟摆阀密封圈
分配器密封圈
卡箍中心支架密封圈
产品制程:
Etch、Pumpline