UThot™
Boilpeak全氟化弹性体密封件能被公认为耐高温材料之一,又有现今市场上最为广泛的氟化系列产品。高温高压环境在先进制程中越来越普遍,Boilpeak针对耐温严苛条件下提供更高的可靠性。
耐热温度大幅提升至
采用专利聚合技术,大幅提高 裂解耐温性能,领导先进高温制程
全球通型性
Boilpeak 所有研发产品 选用现有机型普及率持续成长
密封技术
领导先进制程,实现新时代纳米 高洁净密封技术
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UThot™ KH215
产品特性:
良好的耐高温性能
优秀的高温水蒸气性能
机械力学性能优异
较好的支撑反弹力
产品应用:
中心支架密封环
流体传输密封圈
过滤器密封圈
管道垫片密封圈
产品制程:
Wet Etch、Pumpline、Filter
UThot™ KH216
产品特性:
广泛的高温耐受性能
高温下气体释气率低
金属粘性小且无痕
高温压缩永久变形好
产品应用:
中心支架密封环
石英管密封圈
腔室高温密封圈
观察室密封圈
产品制程:
Oxidation、Diff、ALD、LPCVD
UThot™ KH218
产品特性:
极端高温耐受性能
高温下气体释气率低
高温热解率慢
高温压缩永久变形好
产品应用:
中心支架密封环
石英管密封圈
腔室高温密封圈
观察室密封圈
产品制程:
Oxidation、Diff、ALD、LPCVD
UThot™ KH225
产品特性:
良好的耐高温性能
优秀的高温水蒸气性能
机械力学性能优异
较好的支撑反弹力
产品应用:
中心支架密封环
流体传输密封圈
过滤器密封圈
管道垫片密封圈
产品制程:
Wet Etch、Pumpline、Filter
UThot™ KH126
产品特性:
非常好的气体释放率
极好的压变性能
高温恢复性能优秀
低压力不粘黏金属陶瓷石英
产品应用:
中心支架密封环
石英观察窗密封圈
节流阀密封圈
连接装置密封圈
产品制程:
Oxidation、Diff、RTP
UThot™ KH791
产品特性:
在O和F的电浆环境中有
良好的耐受性
干法刻蚀工艺耐气体腐蚀性好
优秀的耐高温性能
释气率很低
产品应用:
气体进口出口密封圈
腔体盖子密封圈
截止阀密封圈
作为动密封用于gate valve和slit valve门密封
产品制程:
Oxidation、Diff、RTP